湿法腐蚀清洗系统
发布时间：2020-10-05 作者：鲁超超声 点击：111次
主要特点：
成熟的?？榛ひ兆楹?/p>
可面向用户工艺需要，定制化设计
已应用于20nm级别IC工艺线
针对LED生产线，提高整体解决方案
全自动清洗/手动清洗可选
整机防漏液设计
广泛应用于Ic、MEMS、LED、PV、电力电子、半导体材料等行业
标准配置：
高纯进口板材
高结晶工艺管道
高洁净气动阀门
防腐机械手
伺服电机驱动
人机对话界面，触摸屏操作
标准工艺?？?/p>
SC-I溶液腐蚀槽
SC-II溶液腐蚀槽
SC-III溶液腐蚀槽
QDR槽
循环清洗槽
超声/兆声清洗槽
可选?？椋?/p>
鼓氮
水溶超声/水浴兆声槽
槽内加热/制冷循环
漏液检测
水阻检测
自动供液系统
自动配液系统
自动灭火系统（有机清洗）
ESD功能（有机清洗）
MES接口（可?。?/p>
- 上一篇： 上一篇：LCS系列立式旋转冲洗甩干机
- 下一篇： 下一篇：硅材料清洗