概述：

该设备用于晶圆片扩散、蒸发、CAV生产前的清洗处理。该机共有六种清洗方式可供选择，清洗程序为纯水清洗、胆碱清洗、冷热纯水冲洗、酸洗（HF）、纯水清洗。其工艺性能指标及可靠性完全达到进口同类设备水平，但价格、售后服务、备品备件的供给等是进口设备无法比拟的。

主要特点：

采用进口PP板制作。

适用2-6寸硅片清洗。

超声功率强劲，性能稳定。